普通表面或多孔材料对气体的物理吸附或吸收可用于获得高真空。 吸附或吸收技术可以在任何压力下使用，但是由于实际的限制，它只是作为真空技术中的一种特殊应用而开发的。

  为了消除由油封机械橡胶叶轮产生的碳氢化合物污染的可能性，橡胶叶轮通常用于超高真空系统的粗抽，并且通常与干（无油）机械橡胶叶轮一起使用。 根据泵送程序顺序使用两个或三个橡胶叶轮，以从真空容器中排出大量空气。 通过改用离子吸气型橡胶叶轮泵，可获得足够低的压力而不会造成过载。

  可以通过吸附获得高真空。 该方法可以是通过升高温度使吸附的气体物质解吸，然后恢复到室温，或者可以将其冷却至低温。

  商业橡胶叶轮通常设计为获得前级真空。 但是，使用具有类似基本结构的橡胶叶轮的多级泵送也可以实现高真空，但入口电导率更高。

  密封设备通常在高温条件下通风和密封。 在冷却期间，吸附部位的数量足够大，以提供能够显着降低压力的泵送效果，从而可以将压力降低一个或几个数量级。 许多例子表明，当温度变化大时，在高真空下必须具有吸附作用。